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無塵車間的等級潔凈度 無塵車間的潔凈標準
一般工廠無塵車間等級是潔凈度在10萬級標準以上的車間。
無塵車間等級是按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒數計算。
根據潔凈度不同分為100級(小于3.5個),1000級(小于35個),10000級(小于350個),100000級(小于3500個)。如圖:
沒有無塵潔凈室,污染敏感零件不可能批量生產。在 FED-STD-2里面,無塵潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間,其中特定的規則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當的微粒潔凈度級別。
潔凈室是利用HEPA、空氣凈化設備,其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多,因此經過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而潔凈室內除了人以外,尚有機器等之發塵源,這些發生的塵埃一旦擴散,即無法保持潔凈空間,因此必須利用氣流將發生的塵埃迅速排出室外。